Філософ П'єр Гассенді (1592-1655) у книжці в 1647 писав, що «всі речовини у світі складаються з неподільних частинок – атомів, …відрізняються один від одного формою, величиною і вагою,..можуть бути кутасті, кулеподібні, с атоми із загостреннями, є й гладенькі...», у тілах різні атоми об'єднуються у групи, які назвав молекулами (дослівно перекладається з латинської мови як «маленька маса», молекули відрізняються одна від одної кількістю атомів, з яких вони складаються, і «сортом» цих атомів».
Далі атомістичне вчення розвивали англійські фізики Роберт Бойль (1627-1691) та Ісаак Ньютон (вважав, що всі тіла складаються з «міцних, непроникних, рухомих частинок, які мають масу»); російський учений Михайло Ломоносов (1711 – 1765 ) (за допомогою вчення про атоми давав пояснення різних властивостей і перетворень речовини); у 1803 р. англійський фізик і хімік Джон Дальтон (1766-1844) дійшов висновку, що хімічні реакції пояснювалися анатомічною будовою. Італійський фізик Амадео Авогадро (1776-1856) у 1811 р. ввів у науку поняття про молекулу як найменшу частинку речовини (здатна до самостійного існування і яку не можна поділити за допомогою хімічних засобів). А в 1860 р. у німецькому місті Карлсруе на Першому міжнародному з'їзді хіміків було прийнято визначення атома як найменшої частинки хімічного елемента.
Однак у 1896 р. було встановлено, що атоми... не такі вже й неподільні. Французький фізик Анрі Беккерель (1852-1908) відкрив явище, у процесі якого з'ясувалося, що атоми можуть самовільно розпадатися на частинки, що мають значно менші розміри.